扩散泵系列真空机组以罗茨旋片机组作为预抽，扩散泵主体及挡板均有改进，使得在较低真空领域抽速有较大成度增加。它以油扩散泵为主泵和阀门、水冷挡板、管道、机械真空泵（前级泵）等组成高真空抽气系统，可获得（10-2—10-4Pa）的工作真空度。扩散泵系列真空机组可作为真空冶炼、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、真空浸渍、太空模拟试验装置等高科技设备的高真空获得装置，以及其它需要在10-1 --10…