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扩散泵机组系列

扩散泵系列真空机组

扩散泵系列真空机组

扩散泵系列真空机组以罗茨旋片机组作为预抽,扩散泵主体及挡板均有改进,使得在较低真空领域抽速有较大成度增加。它以油扩散泵为主泵和阀门、水冷挡板、管道、机械真空泵(前级泵)等组成高真空抽气系统,可获得(10-2—10-4Pa)的工作真空度。扩散泵系列真空机组可作为真空冶炼、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、真空浸渍、太空模拟试验装置等高科技设备的高真空获得装置,以及其它需要在10-1 --10…
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