液环泵，对气体的压缩接近等温压缩，泵内没有相互摩擦的金属接触面，不易发生燃烧爆炸事故；泵腔内转动件与固定件之间由液体密封，无需润滑；适于抽含有蒸汽、水份或固体微粒的气体。但是液环泵的极限压力较高，当用15℃水做工作液时，极限压力可以到25hPa左右，一般用在工作压力33hPa 以上工况。当工作液温度上升，极限压力升高，在工作压力处理气体流量也会小于标准状况时的气体流量。

　　 大气喷射器，以常压下大气为动力气体，不消耗额外动力，没有任何运动部件，就可以获得一定真空。液环泵串联大气喷射器后，极限压力可以到达6.7hPa，在15~40hPa区间的抽气量能达到液环泵名义抽气量的50%以上，这样大大拓展了液环泵的使用范围。罗茨泵，转子与泵腔、转子与转子之间具有一定间隙，互不接触，不需要润滑油润滑；在泵腔内对气体不产生压缩现象，对被抽气体中含有的灰尘和蒸汽不敏感。

　　 罗茨-液环真空机组，具有液环泵的大量优点，而且提高了液环泵的真空度，扩大了液环泵在低压力下的抽速，能够很好的处理含有大量蒸汽或粉尘的气体。但是单级罗茨—液环真空机组极限压力较高，一般在4~6.5hPa，要求的真空系统的工作压力至少在15hPa以上，对于要求工作压力为在一千多帕或几百帕的真空系统，则要再要增加一级罗茨泵。而大气喷射器可以加到罗茨泵和液环泵中间，可以完全代替一级罗茨泵。罗茨- 大气喷射器—液环真空机组是在液环罗茨真空机组的液环泵和罗茨泵之间增加了大气喷射器，与罗茨泵数目相同的液环罗茨真空机组相比，极限压力较低，在较低压力下有较大抽速，大气喷射器不消耗功率和无运动部件，维护量很小。罗茨- 大气喷射器- 液环真空机组，极限压力可以到0.10～0.25hPa，可以用于工作压力1hPa 以上的工艺过程抽空。